铜演化与超越:未来CMOS节点的先进互连

随着科技的不断发展,CMOS技术已经成为电子行业的主流。然而,随着器件尺寸的不断缩小和性能的不断提升,互连技术变得愈发重要。在这一领域,铜作为一种广泛应用的材料,在互连领域中发挥着重要作用。

来自IBM研究中心的最新研究表明,铜的演化和超越对未来CMOS节点的先进互连技术至关重要。铜的高导电性和可靠性使其成为理想的互连材料,但随着器件尺寸不断减小,铜的应用也面临着挑战。

为了应对这一挑战,研究人员提出了一种全新的思路,即通过设计新型的铜交联硬化剂来提高铜的性能。这种创新的方法将铜的机械性能和导电性能进行了优化,进一步满足了先进互连技术的要求。

通过不懈努力和创新突破,铜的互连技术正在不断演化和超越,为未来CMOS节点的发展开辟了新的可能性。随着这一领域研究的深入,我们有理由相信,铜将继续在互连技术领域发挥重要作用,推动科技的进步和发展。【https://research.ibm.com/blog/beol-cu-interconnects-iedm】

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